Ky instrument miraton metodën e matjes interferometrike pa kontakt, optike të zhvendosjes së fazës, nuk dëmton sipërfaqen e pjesës së punës gjatë matjes, mund të matë shpejt grafikën tredimensionale të mikrotopografisë sipërfaqësore të pjesëve të ndryshme të punës dhe të analizojë dhe llogaritë matjen rezultatet.
Përshkrimi i produktit
Karakteristikat: I përshtatshëm për matjen e vrazhdësisë së sipërfaqes së blloqeve të ndryshme të matësve dhe pjesëve optike; thellësia e rrjetës së vizores dhe numrit; trashësia e veshjes së strukturës së brazdës së grilave dhe morfologjia e strukturës së kufirit të veshjes; sipërfaqja e diskut magnetik (optik) dhe koka magnetike Matja e strukturës; Vrazhdësia e sipërfaqes së vaferës së silikonit dhe matja e strukturës së modelit, etj.
Për shkak të saktësisë së lartë të matjes së instrumentit, ai ka karakteristikat e matjes pa kontakt dhe tre-dimensionale, dhe miraton kontrollin kompjuterik dhe analizën dhe llogaritjen e shpejtë të rezultateve të matjes. Ky instrument është i përshtatshëm për të gjitha nivelet e njësive kërkimore testuese dhe matëse, dhomat e matjeve të ndërmarrjeve industriale dhe minerare, punëtoritë e përpunimit preciz, si dhe i përshtatshëm për institucionet e arsimit të lartë dhe institucione kërkimore shkencore, etj.
Parametrat kryesorë teknikë
Gama matëse e thellësisë së pabarazisë mikroskopike të sipërfaqes
Në një sipërfaqe të vazhdueshme, kur nuk ka ndryshim të papritur të lartësisë më të madhe se 1/4 e gjatësisë së valës ndërmjet dy pikselëve ngjitur: 1000-1 nm
Kur ka një mutacion në lartësi më të madhe se 1/4 e gjatësisë së valës ndërmjet dy pikselëve ngjitur: 130-1nm
Përsëritshmëria e matjes: δRa ≤0.5nm
Zmadhimi objektiv i lenteve: 40X
Hapja numerike: Φ 65
Distanca e punës: 0.5 mm
Fusha e shikimit të instrumentit Vizuale: Φ0.25mm
Fotografia: 0.13×0.13 mm
Zmadhimi i instrumentit Vizual: 500×
Fotografi (e vëzhguar nga ekrani i kompjuterit)-2500×
Gama e matjes së marrësit: 1000X1000
Madhësia e pikselit: 5,2×5,2µm
Koha e matjes së kampionimit (skanimit) Koha: 1S
Reflektimi standard i pasqyrës së instrumentit (i lartë): ~50%
Reflektenca (e ulët): ~4%
Burimi i ndriçimit: llambë inkandeshente 6V 5W
Gjatësia valore e filtrit të interferencës së gjelbër: λ≒530nm
Gjysmë gjerësi λ≒10nm
Ngritja e mikroskopit kryesor: 110 mm
Ngritja e tavolinës: 5 mm
Gama e lëvizjes në drejtimin X dhe Y: ~10 mm
Gama rrotulluese e tavolinës së punës: 360°
Gama e pjerrësisë së tavolinës së punës: ±6°
Sistemi kompjuterik: P4, 2.8G ose më shumë, ekran me ekran të sheshtë 17 inç me memorie 1G ose më shumë